INTERFEROMETER

Zygo GPI XP-D

Fisba uPhase

Interferometer mit Phasenschiebung und integrieter 640px x 480px Digitalkamera

• Laserwellenlänge: 632.8 nm
• PV-Wiederholgenauigkeit: λ / 300
• RMS-Wiederholgenauigkeit: λ / 10000
• Auflösung: λ / 8000
• Strahldurchmesser Plan vertikal: 150 mm
• Strahldurchmesser Plan horizontal: 100 mm
• Strahldurchmesser Plan & Radius vertikal: 100 mm
• Messbereich Radienmessung: 1000 mm

Twyman-Green Interferometer mit Phasenschiebung

• Laserwellenlänge: 632.8 nm
• PV-Wiederholgenauigkeit. λ / 400
• RMS-Wiederholgenauigkeit: λ / 6500
• Messunsicherheit: λ / 35
• Strahldurchmesser Plan: 150 mm
• Strahldurchmesser Plan & Radius: 50 mm
• Messbereich Radienmessung: 300 mm