Weisslicht Interferometer

Zygo New View 6300

Berührungsloses, dreidimensionales Scanning Weisslicht- und Optical phaseshifting-Interferometer

  • Vertikale Auflösung bis zu 0.1nm
  • Laterale Auflösung bis zu 0.45µm
  • Reproduzierbarkeit < 0.1 nm RMS
  • Max. Teilgrösse (B x L x H) 203mm x 203mm x 89mm
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