Laser Scanning Mikroskop

Laser Scanning Mikroskop LEXT OLS4100

Das LEXT OLS4100 ist ein Laser Scanning Mikroskop für kontaktlose 3D Messung von Oberflächen

 

 Total Vergrösserung: 108x – 17,280x

  • Wiederholbarkeit bei der Höhenmessung: 50x: σn-1=0.012 μm
  • Genauigkeit der Höhenmessung: 0.2+L/100 μm or Less (L=Mess Länge) 
  • Positioniergenauigkeit<. 100x: 3σn-1=0.02 μm
  • Genauigkeit der Positionierung: Messwert ±2%
  • Bildschirm Auflösung: 1 nm 

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