Interferometer

Zygo GPI XP-D

Interferometer mit Phasenschiebung und integrieter 640px x 480px Digitalkamera
  • Laserwellenlänge 632.8 nm
  • PV-Wiederholgenauigkeit λ / 300
  • RMS-Wiederholgenauigkeit λ / 10000
  • Auflösung λ / 8000
  • Strahldurchmesser Plan vertikal 150 mm
  • Strahldurchmesser Plan horizontal 100 mm
  • Strahldurchmesser Plan & Radius vertikal 100 mm
  • Messbereich Radienmessung 1000 mm

Fisba uPhase

Twyman-Green Interferometer mit Phasenschiebung

  • Laserwellenlänge 632.8 nm
  • PV-Wiederholgenauigkeit λ / 400
  • RMS-Wiederholgenauigkeit λ / 6500
  • Messunsicherheit λ / 35
  • Strahldurchmesser Plan 150 mm
  • Strahldurchmesser Plan & Radius 50 mm
  • Messbereich Radienmessung 300 mm
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